中船重工七一八所特种气体高纯NF3达世界先进水平
日前,七一八所承担的国家创新基金研发项目“电子工业特种气体——高纯NF3”通过了河北省科技厅的验收。国家科技部、邯郸市科技局领导参加了验收会。
“微电子工业特种气体——高纯NF3”是2004年国家科技部立项的创新基金研发项目,项目总投资800万元,其中科技部资助80万元,河北省科技厅资助16万元,项目完成期限为2年。
七一八所超额完成了立项报告提出的各项计划目标。项目执行期间,实际完成新增投资1000余万元,产品实现批量生产,年生产能力超过50吨,实现销售收入1800余万元(合同规定800万元),创汇超过180万美元(合同规定50万美元),产品纯度不低于99.995%,通过ISO9000-2000质量体系认证。在技术创新方面,申请2件发明专利,产品技术指标在国内处于领先地位,达到当今世界先进水平。
验收组专家对该项目的执行情况给予了高度评价,现场验收考核打了满分100分,该项目顺利通过验收。
来源:中国船舶信息中心
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